產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
紅外加熱爐,快速退火爐RTP600專為半導(dǎo)體高溫處理設(shè)計,支持500℃~1000℃范圍內(nèi)的氧化/擴散/快速退火工藝,采用雙層21×1kW高功率燈管,實現(xiàn)150℃/s極速升溫控制,通過水冷鋁質(zhì)外殼、石英內(nèi)腔確保溫度均勻性,兼容2~6英寸晶圓片,結(jié)合精密氣體控制提供高效解決方案。
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